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中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對機床進行校準(zhǔn),并提供數(shù)據(jù)補償依據(jù),是高品質(zhì)測量儀器產(chǎn)品。
它集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
產(chǎn)品功能
1. 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
2. 可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3. 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
4. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
5. 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
6. 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
激光的高方向性、高相干性和高單色性特點,使其具有普通光源所沒有的優(yōu)勢。SJ6000激光干涉儀測量分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。
SJ6000主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。它采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。